沖縄科学技術大学院大学、常識を覆す半導体製造装置理論を発表

本設計によるEUVリソグラフィーは、小型のEUV光源でも動作するため、コストを削減し、信頼性と寿命を飛躍的に向上させます。また、消費電力は従来の10分の1以下となり、半導体業界のSDGs目標達成にも貢献します。

本技術は、これまでEUVリソグラフィーの分野で実現不可能とされてきた2つの課題に挑戦し、それを克服できることを理論的に証明したことで実現しました。ひとつは、たった2枚のミラーで構成されるプロジェクター光学系であり、もうひとつは、平面ミラー（フォトマスク）上に形成されたロジックパターンに、光路を遮ることなくフォトマスクの前方からEUV光を照射する新たな手法を見出したことです。